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根據韓媒 ETNews 報道,三星電子公司正在開(kāi)發(fā)“智能傳感器系統”,用于控制和管理半導體工藝。
圖源:三星/侵刪
提高半導體良率的關(guān)鍵點(diǎn)之一是,精確控制半導體生產(chǎn)過(guò)程中等離子體均勻性和密度,而“智能傳感器系統”用于測量晶圓等離子均勻性,準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能,有望提高半導體良率和產(chǎn)能。
三星現有的晶圓智能傳感器大部分采購自美國等國外廠(chǎng)商,耗資數千萬(wàn)韓元。而近期對提高產(chǎn)量的需求不斷飆升,倒逼三星轉向自研,降低對外國傳感器的依賴(lài)程度。
據了解,三星電子正在開(kāi)發(fā)的智能傳感器是超小型的,不會(huì )對現有設備空間產(chǎn)生重大影響,這意味著(zhù)可以在提高空間利用率的同時(shí)提高產(chǎn)能。
據報道,三星電子計劃逐步擴大智能傳感器的開(kāi)發(fā)和應用范圍,其目的不僅限于等離子體,而是開(kāi)發(fā)可用于各種半導體工藝的 SMART 傳感器和系統。